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Infrarot Abbildungssystem zur thermosensorischen Defektlokalisierung als Online Quality Control Tool zur OLED Produktion

IP.com Disclosure Number: IPCOM000009622D
Original Publication Date: 2002-Oct-25
Included in the Prior Art Database: 2002-Oct-25
Document File: 1 page(s) / 48K

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Bei der Beschichtung mit organischen Funktionspolymeren zur Herstellung von organischen Leuchtdi-oden (OLEDs), Displays oder anderen organischen optoelektronischen Bauteilen muss zur Qualitäts-kontrolle jede einzelne OLED bzw. jedes Display einzeln elektrisch angeschlossen werden. Die elekt-rooptische Vermessung erfolgt mittels Strom-Spannungskurven-Durchläufen, wobei die Vermessung bei Displays mittels Mustererkennung von Pixelabfolgen nach der Versiegelung erfolgt. Es wird vorgeschlagen, hochauflösende Infrarot (IR) Abbildungssysteme einzusetzen, die eine schnelle Identifizierung sowie eine Früherkennung von Defekten in den organischen (elektronischen bzw. optoelektronischen) Bauelementen ermöglichen. Das organische elektronische Bauelement wird im kontinuierlichen Verfahren hergestellt, wobei zu-mindest ein IR Abbildungssystem nach dem Aufbringen des obersten organischen Films und vor der obersten Elektrode und/oder vor der Verkapselung den Film abbildet und dadurch Defektstellen sicht-bar macht. Das IR Abbildungssystem ist eine Anordnung, die aus einer Infrarotkamera mit hoher Auf-lösung (räumliche Auflösung und Temperaturauflösung) und einer optionalen Messelektronik besteht. Für kleine Defekte in Dünnschicht-Bauelementen ist es wichtig, eine Temperaturauflösung im Millikel-vin-Bereich oder darunter zu erreichen. Mit einer LockIn Technik kann die Auflösung von Kamerasys-temen um Größenordnungen erhöht werden. Wird eine halbleitende, vorzugsweise organische Schicht durch Beleuchtung (vor der Kontaktierung) oder Stromfluss (nach der Kontaktierung) belastet, so wird die Lichtenergie bzw. elektrische Energie vorzugsweise an den Defekten (Shunts, Inhomogenitäten) dissipiert, was zu einer lokalen Tempera-turerhöhung führt. Diese Temperaturerhöhung wird vom IR System erfasst und graphisch dargestellt, so dass Fehler erkannt werden können. Das IR System kann aufgrund der hohen Temperaturauflö-sung auch zur Früherkennung von Versagen fertig prozessierter Bauelemente verwendet werden.

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S

© SIEMENS AG 2002 file: 2002J12607.doc page: 1

Infrarot Abbildungssystem zur thermosensorischen Defektlokalisierung als Online Quality Control Tool zur OLED Produktion

Idea: Dr. Christoph Brabec, DE-Erlangen; Dr. Georg Wittmann, DE-Erlangen

Bei der Beschichtung mit organischen Funktionspolymeren zur Herstellung von organischen Leuchtdi- oden (OLEDs), Displays oder anderen organischen optoelektronischen Bauteilen muss zur Qualitäts- kontrolle jede einzelne OLED bzw. jedes Display einzeln elektrisch angeschlossen werden. Die elekt- rooptische Vermessung erfolgt mittels Strom-Spannungskurven-Durchläufen, wobei die Vermessung bei Displays mittels Mustererkennung von Pixelabfolgen nach der Versiegelung erfolgt.

Es wird vorgeschlagen, hochauflösende Infrarot (IR) Abbildungssysteme einzusetzen, die eine schnelle Identifizierung sowie eine Früherkennung von Defekten in den organischen (elektronischen bzw. optoelektronischen) Bauelementen ermöglichen.

Das organische elektronische Bauelement wird im kontinuierlichen Verfahren hergestellt, wobei zu- mindest ein IR Abbildungssystem nach dem Aufbringen des obersten organischen Films und vor der obersten Elektrode und/oder vor der Verkapselung den Film abbildet und dadurch Defektstellen sicht- bar macht. Das IR Abbildungssystem ist eine Anordnung, die aus einer Infrarotkamera mit hoher Auf- lösung (räumliche Auflösung und Temperaturauflösung) und einer optionalen Messelektronik besteht. Für kleine Defekte in Dünnschicht-Baue...