Browse Prior Art Database

Struktur zur "First die" Erkennung

IP.com Disclosure Number: IPCOM000012103D
Original Publication Date: 2003-May-25
Included in the Prior Art Database: 2003-May-25
Document File: 2 page(s) / 570K

Publishing Venue

Siemens

Related People

Juergen Carstens: CONTACT

Abstract

Aufgrund ungenuegender Referenzen bei Scheiben ohne Testchips kommt es bei der Positionierung des „First Die Systems“ (erstes messendes System) zur Verwechslung von Chipkoordinaten bei der Produktion von Computerchips. Dadurch werden funktionierende Systeme „geinkt“, wohingegen bei vorhergehenden Tests als fehlerhaft identifizierte Chips keinen Inkpunkt erhalten. Diese ungenuegende Referenzierung fuehrt auch in Prozessschritten des Backends zu denselben Problemen, da es ohne Referenzpunkte zu einer falschen Positionierung kommt. Das Problem wird durch das Design und die Verwendung einer einfachen Struktur als Hilfsstruktur zur „First die“ Erkennung, die von der Bilderkennungssoftware zuverlaessig erkannt wird, geloest. Dieses Verfahren wird mit Methoden fuer eine gezielte Plazierung auf den Scheiben gekoppelt. Diese Struktur stellt eine Art Lattenzaun dar, d.h. sie ist aus mehreren senkrechten und waagrechten Balken aufgebaut und hat deshalb fuer ein Bilderkennungssystem einen deutlich hoeheren Wiedererkennungswert als die grossflaechige Struktur auf den Scheiben selbst. Abbildung 1 zeigt eine moegliche Ausfuehrungsform eines derartigen Designs. In den Abbildungen 2 bis 4 werden moegliche Platzierungen dargestellt. Die Struktur laesst sich sowohl ueber Reticles als auch ueber Masken auf die Scheibe belichten. Sie kann zudem in beliebigen Ebenen strukturiert werden, wobei sich Imid- und Metallebenen als besonders geeignet erweisen. Die Methode ist fuer alle Scheibendurchmesser geeignet.

This text was extracted from a PDF file.
At least one non-text object (such as an image or picture) has been suppressed.
This is the abbreviated version, containing approximately 74% of the total text.

Page 1 of 2

S

© SIEMENS AG 2003 file: ifx_2002J50416.doc page: 1

Struktur zur "First die" Erkennung

Idea: Gernot Moik, AT-Villach; Dr. Joerg Ortner, AT-Villach; Michael Dahmen, AT-Villach; Rudolf Rothmaler, DE-Muenchen; Jens Staecker, DE-Dresden

Aufgrund ungenuegender Referenzen bei Scheiben ohne Testchips kommt es bei der Positionierung des "First Die Systems" (erstes messendes System) zur Verwechslung von Chipkoordinaten bei der Produktion von Computerchips. Dadurch werden funktionierende Systeme "geinkt", wohingegen bei vorhergehenden Tests als fehlerhaft identifizierte Chips keinen Inkpunkt erhalten.

Diese ungenuegende Referenzierung fuehrt auch in Prozessschritten des Backends zu denselben Problemen, da es ohne Referenzpunkte zu einer falschen Positionierung kommt.

Das Problem wird durch das Design und die Verwendung einer einfachen Struktur als Hilfsstruktur zur "First die" Erkennung, die von der Bilderkennungssoftware zuverlaessig erkannt wird, geloest. Dieses Verfahren wird mit Methoden fuer eine gezielte Plazierung auf den Scheiben gekoppelt.

Diese Struktur stellt eine Art Lattenzaun dar, d.h. sie ist aus mehreren senkrechten und waagrechten Balken aufgebaut und hat deshalb fuer ein Bilderkennungssystem einen deutlich hoeheren Wiedererkennungswert als die grossflaechige Struktur auf den Scheiben selbst. Abbildung 1 zeigt eine moegliche Ausfuehrungsform eines derartigen Designs. In den Abbildungen 2 bis 4 werden moegliche Platzierungen dargestellt.

Die Struktur laess...