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Verfahren zur Vermeidung von Vakuumverlusten in Moldwerkzeugen infolge Partikelakkumulation

IP.com Disclosure Number: IPCOM000016871D
Original Publication Date: 1998-Oct-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-21
Document File: 1 page(s) / 26K

Publishing Venue

Siemens

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Knut Kahlisch: AUTHOR [+3]

Abstract

Beim Umhüllen von integrierten Schaltungen mit einem Schutzmantel aus Epoxidharz in sehr flachen Werkzeugkavitäten (gesamte Bauteildicke / Chipdicke = 1 / 3 insbesondere bei TSOP-Gehäusen), ist für eine lunkerfreie Bauteiloberfläche der Aufbau von Vakuum in den einzelnen Werkzeugkavitäten unerläßlich. Um das entsprechende Vakuum aufzubauen, wird über sehr verzweigte Kanäle und längere Zuleitungen eine Evakuierung vorgenommen. Da beim Umhüllprozeß, einschließlich des Inline-Reinigunsprozesses, permanent Partikel anfallen, werden diese über die zum Evakuieren genutzten Zuleitungssysteme abgesaugt und lagern sich dabei an den kritischen Stellen des Kanal-/ Zuleitungssystemes ab. Diese Partikelakkumulation führt in kurzer Zeit zur Blockade des Kanal-/ Zuleitungssystems, was ein nicht ausreichendes oder vollkommen fehlendes Vakuum verursacht und somit erhebliche Qualitätsprobleme (Lunker) am Bauteil induziert.

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Bauelemente

Verfahren zur Vermeidung von Vakuumverlusten in Moldwerkzeugeninfolge Partikelakkumulation

Idee: Knut Kahlisch, Eisenhüttenstadt; Bernd Schadewinkel, Dresden;

Gert Pfützner, Dresden

Beim Umhüllen von integrierten Schaltungen mit einem Schutzmantel aus Epoxidharz insehr flachen Werkzeugkavitäten (gesamte Bauteildicke / Chipdicke = 1 / 3� insbesonderebei TSOP-Gehäusen), ist für eine lunkerfreie Bauteiloberfläche der Aufbau von Vakuum inden einzelnen Werkzeugkavitäten unerläßlich. Um das entsprechende Vakuum aufzubauen,wird über sehr verzweigte Kanäle und längere Zuleitungen eine Evakuierung vorgenommen.

Da beim Umhüllprozeß, einschließlich des Inline-Reinigunsprozesses, permanent Partikelanfallen, werden diese über die zum Evakuieren genutzten Zuleitungssysteme abgesaugt undlagern sich dabei an den kritischen Stellen des Kanal-/ Zuleitungssystemes ab. DiesePartikelakkumulation führt in kurzer Zeit zur Blockade des Kanal-/ Zuleitungssystems, wasein nicht ausreichendes oder vollkommen fehlendes Vakuum verursacht und somiterhebliche Qualitätsprobleme (Lunker) am Bauteil induziert.

Da bei den bekannten Vakuummold-Maschinen eine automatische Werkzeugreingung nichtintegriert ist, muß das Werkzeug manuell gereinigt („ausgeblasen“) werden.

Um den dadurch entstehenden Mehraufwand zu vermeiden wird vorgeschlagen denProduktionsablauf einer Vakuummold-Maschine derart zu modifizieren, daß nach jedemMold-Transferschritt Druckluft durch die Kanal-/...