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EDV-Bilderfassung zur Optimierung der Fluoreszenz-Mikrothermographie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017147D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22
Document File: 2 page(s) / 17K

Publishing Venue

Siemens

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Christian Herzum: AUTHOR [+2]

Abstract

In der elektrischen Fehleranalyse von integrierten Schaltkreisen dient ein hochauflösendes Temperaturmeßverfahren zum Auffinden sogenannter „Hot-Spots“, welche durch untypische lokale Erwärmung einer Schaltung entstehen und auf einen erhöhten Stromverbrauch im betroffenen Bereich hinweisen. Da die bisher zur „Hot-Spot“-Lokalisierung verwendete Flüssigkristall-Thermographie aufgrund der maximal zu erreichenden Auflösung von 1 µm und der Temperaturempfindlichkeit von 100 mK den Anforderungen der kleiner werden Strukturgrößen und der zunehmenden Anzahl von Metallisierungsebenen nicht mehr gerecht wird, ist die Einführung eines neuen, den gestiegenen Anforderungen hinsichtlich Auflösung und Temperaturempfindlichkeit gewachsenen Verfahrens erforderlich. Mit dem Verfahren der Fluoreszenz-Mikrothermographie (FMT) können, bei einer entsprechenden Unterstützung durch geeignete Software, Auflösungen von bis zu 0,5 µm und Temperaturempfindlichkeiten von bis zu 10 mK erreicht werden.

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Bauelemente

EDV-Bilderfassung zur Optimierung der Fluoreszenz-Mikrothermographie

Idee: Christian Herzum, Pöcking; Dr. Christian Boit, München

In der elektrischen Fehleranalyse von integrierten Schaltkreisen dient ein hochauflösendesTemperaturmeßverfahren zum Auffinden sogenannter „Hot-Spots“, welche durchuntypische lokale Erwärmung einer Schaltung entstehen und auf einen erhöhtenStromverbrauch im betroffenen Bereich hinweisen.

Da die bisher zur „Hot-Spot“-Lokalisierung verwendete Flüssigkristall-Thermographieaufgrund der maximal zu erreichenden Auflösung von 1 µm und derTemperaturempfindlichkeit von 100 mK den Anforderungen der kleiner werdenStrukturgrößen und der zunehmenden Anzahl von Metallisierungsebenen nicht mehr gerechtwird, ist die Einführung eines neuen, den gestiegenen Anforderungen hinsichtlich Auflösungund Temperaturempfindlichkeit gewachsenen Verfahrens erforderlich. Mit dem Verfahrender Fluoreszenz-Mikrothermographie (FMT) können, bei einer entsprechendenUnterstützung durch geeignete Software, Auflösungen von bis zu 0,5 µm undTemperaturempfindlichkeiten von bis zu 10 mK erreicht werden.

Hierfür ist neben der Festlegung einer optimalen Aufnahmedauer insbesondere zu beachten,daß durch die Degradation des Film-Farbstoffes unter UV-Licht, eine zu einem späterenZeitpunkt aufgenommene Aufnahme dunkler (= heißer) erscheint, auch wenn dieTemperatur im Zeitverlauf konstant geblieben ist. Derartige, sich aus der Degradation desFilmmaterials ergebende Artefakte können nahezu vollständig ausgeschaltet werden, wennvor und nach...