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Rundtransportsystem/Rundlayout

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017148D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22
Document File: 1 page(s) / 19K

Publishing Venue

Siemens

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Harald Lange: AUTHOR

Abstract

Für Halbleiter-Fertigungsprozesse ist die hohe Anzahl von Prozeßschritten, die auf einer Vielzahl unterschiedlicher Fertigungstools stattfinden, signifikant. Aus diesem Grunde kommt der Anordnung der unterschiedlichen Fertigungstools zueinander (Layout) und somit einem gut balancierten Fertigungsfluß eine hohe Bedeutung zu, da diese wichtige Einflußgrößen für den Durchsatz/Zeit darstellen.

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Bauelemente

Rundtransportsystem/Rundlayout

Idee: Harald Lange, Leipzig

Für Halbleiter-Fertigungsprozesse ist die hohe Anzahl von Prozeßschritten, die auf einerVielzahl unterschiedlicher Fertigungstools stattfinden, signifikant. Aus diesem Grundekommt der Anordnung der unterschiedlichen Fertigungstools zueinander (Layout) undsomit einem gut balancierten Fertigungsfluß eine hohe Bedeutung zu, da diese wichtigeEinflußgrößen für den Durchsatz/Zeit darstellen.

Um eine hohe Flexibilität der Fertigung bei einem möglichst optimalen Fertigungsfluß zurealisieren, wird eine kreisförmige Anordnung der einzelnen Fertigungstools inunterschiedlichen Radien vorgeschlagen. Zentrum des vorgeschlagenen Layouts stellthierbei eine im Kreismittelpunkt angeordnete Zentralachse dar, an der zeigerartige Auslegerin unterschiedlichen Höhen drehbar gelagert so befestigt sind, daß mit Ihnen jeder Punktinnerhalb des beschriebenen Kreises erreicht werden kann. Durch die Anordnung derzeigerartigen Ausleger auf unterschiedlichen Höhenniveaus wird ein zeitgleicher Transportermöglicht. Die zentrale Mittelachse kann zudem als zentrales Lager für Transportbehälterbenutzt werden.

Die Anordnung unmittelbar aufeinanderfolgend benutzter oder hoch frequentierterFertigungstools erfolgt vorteilhaft auf dem gleichen Radius. Die vorgeschlagene Anordnunghat zudem den Vorteil, daß sich beim Ausfall eines Fertigungstool und gleichzeitigerVerfügbarkeit eines redundanten Fertigungstools die Transpor...