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Optimierung des Overlay-Meßtarget-Designs zur Vermeidung von durch Lackspannung verursachten Meßfehlern

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017155D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22
Document File: 2 page(s) / 15K

Publishing Venue

Siemens

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Erwin Steinkirchner: AUTHOR

Abstract

Im Rahmen der Herstellung von Halbleiterchips wird bei der optischen Vermessung eines Overlay-Targets die Zentrierung eines abgebildeten inneren Quadrates (1) relativ zu einem bereits auf dem Wafer befindlichen äußeren Quadrat (2) ermittelt. Die Overlay-Messung dient dabei zur Bewertung der relativen Ausrichtung zweier nacheinanderfolgender Belichtungsprozesse zueinander.

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Bauelemente

Optimierung des Overlay-Meßtarget-Designs zur Vermeidung von durchLackspannung verursachten Meßfehlern

Idee: Erwin Steinkirchner, Straubing

Im Rahmen der Herstellung von Halbleiterchips wird bei der optischen Vermessung einesOverlay-Targets die Zentrierung eines abgebildeten inneren Quadrates (1) relativ zu einembereits auf dem Wafer befindlichen äußeren Quadrat (2) ermittelt. Die Overlay-Messungdient dabei zur Bewertung der relativen Ausrichtung zweier nacheinanderfolgenderBelichtungsprozesse zueinander.

Ausgangspunkt bei der Vermessung ist ein Wafer, der in einem vorbestimmten Bereich eineStruktur in Form des äußeren Quadrats (2), z.B. als quadratische Erhöhung, aufweist, diebei einer vorherigen Belichtung geschaffen wurde. Der Wafer wird anschließend ganzflächigbelackt und mit einer Photomaske das innere Quadrat (1) belichtet. Durch die sich darananschließende Entwicklung wird der Lack aus dem inneren Quadrat (1) unter Bildung einerLackkante entfernt. Diese ist optisch sichtbar, so daß deren Lage mit der Lage der Kantedes äußeren Quadrats (2) verglichen werden kann. Aus dem Vergleich der relativen Lageder Kanten zueinander kann auf die optische Justage der beiden Belichtungen zueinandergeschlossen werden.

Aufgrund von Spannungen im Lack, welche durch die Belichtung und Entwicklung desLacks in von der Lackkante des inneren Quadrats entfernten Gebieten entstehen können,kann es zu einem Verzerren dieser Lackkante und damit zu Meßfehlern komm...