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Phase/Transmission Balancing bei alternierenden Phasenmasken durch Plasma-Nachätzprozeß

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017163D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22
Document File: 2 page(s) / 17K

Publishing Venue

Siemens

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Dr. Uwe Griesinger: AUTHOR [+2]

Abstract

Alternierende Phasenmasken zeigen ein deutlich besseres CD/Defocus-Verhalten, wenn sie als sogenannte „Dual-Trench“ Maske gefertigt werden, die aus benachbarten, unterschiedlich tief geätzten Bereichen mit einer bestimmten Tiefe PB besteht (vgl. Fig.1).

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Bauelemente

Phase/Transmission Balancing bei alternierenden Phasenmasken durchPlasma-Nachätzprozeß

Idee: Dr. Uwe Griesinger, München; Dr. Josef Mathuni, München

Alternierende Phasenmasken zeigen ein deutlich besseres CD/Defocus-Verhalten, wenn sieals sogenannte „Dual-Trench“ Maske gefertigt werden, die aus benachbarten,unterschiedlich tief geätzten Bereichen mit einer bestimmten Tiefe PB besteht (vgl. Fig.1).

Um bei der Herstellung der Phasenmaske räumliche Schwankungen der Substrattiefe PBoder eine zu flach ausgebildete Vorätztiefe zu korrigieren, wird üblicherweise  diePhasenmaske mit  einem Pattern Generator (PG)  erneut belichtet. Mit dem PG werdendabei sequentiell und selektiv die Bereiche belichtet, in denen eine Nacharbeitung notwendigist. Dieses Verfahren steht aufgrund der langen Belichtungszeit und der endlichen Overlay-Genauigkeit des PGs vor dem Problem hoher Kosten. Außerdem kann es zuUngenauigkeiten bei den auf der Phasenmakse befindlichen Strukturen kommen.

Zur Umgehung der beschrieben Probleme bekannter Lösungen wird daher vorgeschlagen,die nachträgliche Ätzung unter Verwendung einer selbstjustierten Maske durchzuführen.Dazu wird auf die Vorderseite der Phasenmaske, auf der sich z.B. eine bereits strukturierteChromschicht befindet, eine lichtempfindliche Lackschicht aufgetragen. In die Vorderseiteder Phasenmaske, d.h. in das transparente Substrat (z.B. Quarz), sind ebenfalls bereitsGräben geätzt. Nach dem Auftragen der Lackschicht wi...