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Chipsockel mit Gaskissen als Compression Stop

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017525D
Original Publication Date: 2001-Apr-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 17K

Publishing Venue

Siemens

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Jürgen Högerl: AUTHOR

Abstract

Bei Chips mit flexiblem Interconnect müssen die Test-Sockel mit einem Compression Stop versehen werden, damit die Interconnects nicht irreversibel gestaucht werden. Dies wird bis dato durch ein rein mechanisches Widerlager (umlaufender Ring) bewerkstelligt, das in direkten Kontakt mit der Chipvorderseite gerät (Fig. 1).

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Bauelemente

Chipsockel mit Gaskissen als Compression Stop

Idee: Jürgen Högerl, Regensburg

Bei Chips mit flexiblem Interconnect müssen die Test-Sockel mit einem Compression Stopversehen werden, damit die Interconnects nicht irreversibel gestaucht werden. Dies wird bis datodurch ein rein mechanisches Widerlager (umlaufender Ring) bewerkstelligt, das in direktenKontakt mit der Chipvorderseite gerät (Fig. 1).

Partikel, die durch Abrieb am Chip oder am Sockel entstehen bzw. aus der Umgebungeingeschleppt werden, können sich auf diesem Widerlager festsetzen. Wird solch ein Partikelzwischen Compression Stop und Chipvorderseite gequetscht, so kann es zu einer Schädigung dernur durch eine dünne Passivierung (Photoimid) geschützten   elektrisch aktiven Strukturen kommen.

Die hier vorgestellte Grundidee ist, daß das bisherige mechanische Widerlager durch einGaskissen ergänzt wird, so daß es zu keinem harten Kontakt zwischen der Chipvorderseite undeinem festen mechanischen Widerlager kommt.

Dazu wird der Sockel dahingehend modifiziert, daß entweder ein umlaufender Ring von Düsenbzw. eine Rille dargestellt wird, durch die ein komprimiertes Gas mit ausreichendem Druckgepresst wird, so daß sich ein Gaskissen zwischen Chip und Widerlager ausbildet, sobald derChip in den Sockel gedrückt wird (Fig. 2).

chip

mechanicalcompression stop

flexibleinterconnect

socket contact

Fig. 1:  bisheriger Compression Stop

chip

soft compression stop by compressed air or N2 cushion®..