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Benutzung von FIB-Kratern für die mechanische Driftkompensation in einer AES-Mikrosonde bei Proben mit schwacher Strukturierung

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017683D
Original Publication Date: 2001-Jul-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 13K

Publishing Venue

Siemens

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Dr. Uwe Scheithauer: AUTHOR

Abstract

Die Messung von Spektren in einer Feldemmissions-Auger-Mikrosonde dauert aufgrund eines geringen Primärstrahlstroms bei hoher Ortsauflösung oft mehrere Stunden. Um die mechanische Probendrift kompensieren zu können, wird während der ganzen Messung ein aktuell aufgenommenes REM-Bild einer auffälligen Struktur mit einem gespeicherten Bild dieser Struktur verglichen. Die Probendrift wird dann mittels einer elektronischen Strahlablenkung des Primärelektronenbildes kompensiert.

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Bauelemente

Benutzung von FIB-Kratern für die mechanische Driftkompensation ineiner AES-Mikrosonde bei Proben mit schwacher Strukturierung

Idee: Dr. Uwe Scheithauer, Unterhaching

Die Messung von Spektren in einer Feldemmissions-Auger-Mikrosonde dauert aufgrund einesgeringen Primärstrahlstroms bei hoher Ortsauflösung oft mehrere Stunden. Um die mechanischeProbendrift kompensieren zu können, wird während der ganzen Messung ein aktuellaufgenommenes REM-Bild einer auffälligen Struktur mit einem gespeicherten Bild dieser Strukturverglichen. Die Probendrift wird dann mittels einer elektronischen Strahlablenkung desPrimärelektronenbildes kompensiert.

Eine Schwierigkeit dieses Verfahrens liegt darin, dass manche zu untersuchende Proben in derNähe der zu analysierenden Stelle keine solchen auffälligen Strukturen aufweisen. Um trotzdemeine Driftkorrektur durchführen zu können, wird folgendes Verfahren vorgeschlagen:

In einem Focus Ion Beam (FIB) wird in der Nähe der zu untersuchenden Stelle durchIonenabtrag ein Krater erzeugt, welcher dank seines stark ausgeprägten Hell-Dunkel-Kontrasts inder Sekundärelektronenabbildung als auffällige Struktur beim Bildvergleich für die Driftkontrollegenützt werden kann.

Für die Zukunft ist zu erwarten, dass dieses Verfahren der Driftkorrektur auch für dieTiefenprofilmessung eingesetzt werden kann, denn obwohl die Oberfläche durch den Ionenabtragverändert wird, sollte der Hell-Dunkel-Kontrast des Sputterkraters erhalten ble...