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DCB-Vereinzelung mittels Laser-und Rollenbrechen auf Waferfolie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017833D
Original Publication Date: 2001-Oct-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 210K

Publishing Venue

Siemens

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Gottfried Beer: AUTHOR

Abstract

DCBs werden in typischen Größen von 5-7 inch angeboten. Die Lieferanten bieten Laserritzen als Standardservice an, das ein einfaches Brechen in die Einzelteile erlaubt, z.B. nach Bestücken, Löten, Wi- rebonding. Bei dünnen Keramiken (0,37mm bzw. 0,50mm) besteht erhebliche Bruchgefahr und damit ein Ausbeuteproblem und Verwurfskosten.

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Bauelemente

DCB-Vereinzelung mittels Laser-und Rollenbrechen auf Waferfolie

Idee: Gottfried Beer, Regensburg

DCBs werden  in  typischen  Größen  von  5-7  inchangeboten. Die  Lieferanten  bieten  Laserritzen  alsStandardservice an, das ein einfaches Brechen in dieEinzelteile erlaubt, z.B. nach Bestücken, Löten, Wi-rebonding.  Bei  dünnen  Keramiken (0,37mm bzw.0,50mm) besteht erhebliche Bruchgefahr und damitein Ausbeuteproblem und Verwurfskosten.

Bisher wurde dieses Problem auf zwei verschiedeneArten gelöst:

a)     indem die DCBs schon beim Hersteller gebro-chen und in Einzelteilen versandt werden(Wafflepak, Tape,...). Dies widerspricht aber ei-ner sinnvollen Automatisierung.

b)     Durch Aufspannen der DCB auf eine Folie undSägen analog eines Wafers. Durch die Härte derKeramik  ist  der  Sägeblattverschleiß wesentlichhöher, die Vorschubgeschwindigkeit wesentlichniedriger als bei Siliziumwafern. Dies erhöht dieKosten erheblich.

Zur Lösung dieses Problems wird folgende Erfindungvorgeschlagen: Der DCB wird auf Folie aufgespannt.Mit  einem  Laser  werden anschliessend Sollbruch-stellen eingeritzt (Abbildung 1). Der DCB samt Foliewird dann auf  eine  stabile  aber  flexible  Unterlageaufgebracht (z.B. Gummi, auf Tisch liegend) worauf-hin  die  Sollbruchstellen  mittels  einer  Walze  bzw.Rolle gebrochen werden (s. Abbildung 2). Die DCBliegen dann vereinzelt auf der Folie vor und könnendurch jeden  handelüblichen  Diebonder  weiterverar-beitet werden.

Das teu...