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DCB-Vereinzelung mittels Laser-und Rollenbrechen auf Waferfolie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017833D
Original Publication Date: 2001-Oct-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 210K

Publishing Venue

Siemens

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Gottfried Beer: AUTHOR

Abstract

DCBs werden in typischen Größen von 5-7 inch angeboten. Die Lieferanten bieten Laserritzen als Standardservice an, das ein einfaches Brechen in die Einzelteile erlaubt, z.B. nach Bestücken, Löten, Wi- rebonding. Bei dünnen Keramiken (0,37mm bzw. 0,50mm) besteht erhebliche Bruchgefahr und damit ein Ausbeuteproblem und Verwurfskosten. Bisher wurde dieses Problem auf zwei verschiedene Arten gelöst:

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Bauelemente

DCB-Vereinzelung mittels Laser-und Rollenbrechen auf Waferfolie

Idee: Gottfried Beer, Regensburg

DCBs werden� in� typischen� Größen� von� 5-7� inchangeboten. Die� Lieferanten� bieten� Laserritzen� alsStandardservice an, das ein einfaches Brechen in dieEinzelteile erlaubt, z.B. nach Bestücken, Löten, Wi-rebonding.� Bei� dünnen� Keramiken (0,37mm bzw.0,50mm) besteht erhebliche Bruchgefahr und damitein Ausbeuteproblem und Verwurfskosten.

Bisher wurde dieses Problem auf zwei verschiedeneArten gelöst:

a)� � � � indem die DCBs schon beim Hersteller gebro-chen und in Einzelteilen versandt werden(Wafflepak, Tape,...). Dies widerspricht aber ei-ner sinnvollen Automatisierung.

b)� � � � Durch Aufspannen der DCB auf eine Folie undSägen analog eines Wafers. Durch die Härte derKeramik� ist� der� Sägeblattverschleiß wesentlichhöher, die Vorschubgeschwindigkeit wesentlichniedriger als bei Siliziumwafern. Dies erhöht dieKosten erheblich.

Zur Lösung dieses Problems wird folgende Erfindungvorgeschlagen: Der DCB wird auf Folie aufgespannt.Mit� einem� Laser� werden anschliessend Sollbruch-stellen eingeritzt (Abbildung 1). Der DCB samt Foliewird dann auf� eine� stabile� aber� flexible� Unterlageaufgebracht (z.B. Gummi, auf Tisch liegend) worauf-hin� die� Sollbruchstellen� mittels� einer� Walze� bzw.Rolle gebrochen werden (s. Abbildung 2). Die DCBliegen dann vereinzelt auf der Folie vor und könnendurch jeden� handelüblichen� Diebonder� weiterverar-beitet werden.

Das teu...