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Kontinuierliche Druckmessung beim Prozess Umhüllen in der Halbleiterindustrie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018021D
Original Publication Date: 2001-Dec-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 175K

Publishing Venue

Siemens

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Roman Peters: AUTHOR [+2]

Abstract

Für den Prozess Umhüllen von Halbleiterbauteilen ist der Druck in der Füllkammer (Kavität) des Spritzwerkzeuges eine wichtiger Kennwert. Da der Druck während des Arbeitsvorganges nicht konstant bleibt, ist man versucht, ein Messsystem zu entwi- ckeln, welches eine kontinuierliche Aussage über den Druck geben und das Ergebnis visualisieren kann. Durch die Entwicklung widerstandsfähiger Druck- messsensoren ist es nun möglich, ein solches rech- nergestütztes Messsystem zu realisieren.

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Industrie

Kontinuierliche Druckmessungbeim Prozess Umhüllen in derHalbleiterindustrie

Idee: Roman Peters, Regensburg;

Josef Dirnberger, Regensburg

Für den� Prozess Umhüllen von Halbleiterbauteilenist der� Druck� in� der� Füllkammer� (Kavität)� desSpritzwerkzeuges eine wichtiger� Kennwert.� Da� derDruck während des Arbeitsvorganges nicht konstantbleibt, ist man versucht, ein Messsystem zu entwi-ckeln, welches eine kontinuierliche Aussage über denDruck geben und das Ergebnis visualisieren kann.

Durch die� Entwicklung� widerstandsfähiger� Druck-messsensoren ist es nun möglich, ein solches rech-nergestütztes Messsystem zu realisieren.

Die Messdaten über� den� Druckverlauf� werden� vonden Drucksensoren in der Füllkammer erfasst und aneinen Rechner weitergeleitet und dort kontinuierlichaufgezeichnet. Der Rechner ermöglicht mittels einergeeigneten� Software� die� sofortige Auswertung undDarstellung der Messdaten in grafischer und statisti-scher Weise.

Prozessverhalten der verschiedenen Werkzeuge undMaschinen � und� deren� Prozessstabiliät kann somitsehr schnell beurteilt werden. Mechanische Probleme(z.B. Verschleiß) an Werkzeug und Maschine oderauch Probleme mit den Eingangsmaterialien sind vielleichter zu identifizieren.

Eine mögliche Anwendung� besteht� darin,� dass� mitHilfe der Messdaten ein Regelkreis zur Optimierungdes Drucks in der Arbeitskammer angesteuert werdenkann, oder der Anlagenbediener über Probleme amProzess frühzeitig informiert wird.

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