Browse Prior Art Database

Kontinuierliche Druckmessung beim Prozess Umhüllen in der Halbleiterindustrie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018021D
Original Publication Date: 2001-Dec-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 175K

Publishing Venue

Siemens

Related People

Roman Peters: AUTHOR [+2]

Abstract

Für den Prozess Umhüllen von Halbleiterbauteilen ist der Druck in der Füllkammer (Kavität) des Spritzwerkzeuges eine wichtiger Kennwert. Da der Druck während des Arbeitsvorganges nicht konstant bleibt, ist man versucht, ein Messsystem zu entwi- ckeln, welches eine kontinuierliche Aussage über den Druck geben und das Ergebnis visualisieren kann.

This text was extracted from an ASCII text file.
This is the abbreviated version, containing approximately 100% of the total text.

Industrie

Kontinuierliche Druckmessungbeim Prozess Umhüllen in derHalbleiterindustrie

Idee: Roman Peters, Regensburg;

Josef Dirnberger, Regensburg

Für den  Prozess Umhüllen von Halbleiterbauteilenist der  Druck  in  der  Füllkammer  (Kavität)  desSpritzwerkzeuges eine wichtiger  Kennwert.  Da  derDruck während des Arbeitsvorganges nicht konstantbleibt, ist man versucht, ein Messsystem zu entwi-ckeln, welches eine kontinuierliche Aussage über denDruck geben und das Ergebnis visualisieren kann.

Durch die  Entwicklung  widerstandsfähiger  Druck-messsensoren ist es nun möglich, ein solches rech-nergestütztes Messsystem zu realisieren.

Die Messdaten über  den  Druckverlauf  werden  vonden Drucksensoren in der Füllkammer erfasst und aneinen Rechner weitergeleitet und dort kontinuierlichaufgezeichnet. Der Rechner ermöglicht mittels einergeeigneten  Software  die  sofortige Auswertung undDarstellung der Messdaten in grafischer und statisti-scher Weise.

Prozessverhalten der verschiedenen Werkzeuge undMaschinen  und  deren  Prozessstabiliät kann somitsehr schnell beurteilt werden. Mechanische Probleme(z.B. Verschleiß) an Werkzeug und Maschine oderauch Probleme mit den Eingangsmaterialien sind vielleichter zu identifizieren.

Eine mögliche Anwendung  besteht  darin,  dass  mitHilfe der Messdaten ein Regelkreis zur Optimierungdes Drucks in der Arbeitskammer angesteuert werdenkann, oder der Anlagenbediener über Probleme amProzess frühzeitig informiert wird.

48