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Änderung des Padaufbaus zur Gewährleistung einer besseren Common Source Verdrahtung bei Transistorflöten

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018360D
Original Publication Date: 2002-Jun-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 694K

Publishing Venue

Siemens

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Lars Bartholomäus: AUTHOR

Abstract

Zur parametrischen Produktkontrolle werden im Kerf auch Transistoren vermessen. Da im Kerf nur wenig Platz vorhanden ist, werden sehr viele Strukturen mit Shared Pads verdrahtet, um mit wenigen Pads viele Strukturen messen zu können. Bei Transistoren im Kerf geschieht dies in der Regel mit einem Source- kontakt, an dem viele Transistoren in einer Transis- torflöte angeschlossen werden. Den Drainkontakt teilen sich zwei Transistoren (Dick- und Dünnoxid), die über zwei verschiedene Gatespannungspads (einen für Dünnoxid-, den ande- ren für Dickoxid-Devices) getrennt voneinander steuerbar sind. Durch diese Anordnung lassen sich mit wenigen Pads viele Transistoren messen. Dabei ist jedoch wegen der langen Zuleitung der Transisto- ren in der Sourceleitung der Zuleitungswiderstand nicht mehr vernachlässigbar.

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Bauelemente

Änderung des Padaufbaus zur Ge-währleistung einer besseren Com-mon Source Verdrahtung bei Tran-sistorflöten

Idee: Lars Bartholomäus, Dresden

Zur parametrischen Produktkontrolle werden im Kerfauch Transistoren vermessen. Da im Kerf nur wenigPlatz vorhanden ist, werden sehr viele Strukturen mitShared Pads verdrahtet, um mit wenigen Pads vieleStrukturen messen zu können. Bei Transistoren imKerf geschieht dies in der Regel mit einem Source-kontakt, an dem viele Transistoren in einer Transis-torflöte angeschlossen werden.

Den Drainkontakt teilen sich zwei Transistoren(Dick- und Dünnoxid), die über zwei verschiedeneGatespannungspads (einen für Dünnoxid-, den ande-ren für Dickoxid-Devices) getrennt voneinandersteuerbar sind. Durch diese Anordnung lassen sichmit wenigen Pads viele Transistoren messen. Dabeiist jedoch wegen der langen Zuleitung der Transisto-ren� in� der� Sourceleitung� der Zuleitungswiderstandnicht mehr vernachlässigbar.

Man� versucht� dieses� Problem� zu� umgehen, indemman� die� Transistoren,� welche� die� größten Strömeziehen,� am� nächsten� an� das� Source-Pad� setzt. DerFehler� in� der� Messung� durch� die� Zuleitung wirdsomit geringer, ist jedoch nicht vernachlässigbar.

Die Verdrahtung der Sourcekontakte wird in dünnenMetallbahnen, die gerade noch� so� neben� die� Kon-taktpads passen, durchgeführt. Mangels Platz könnendie Bahnen nicht breiter gemacht werden, um denZuleitungswiderstand zu verringern.

Verändert man jedoch den Pada...