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Nutzung der non-stick-detection NSD bei der Nailheadbondung als Bewertungskriterium für die Padprozessierung

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018379D
Original Publication Date: 2002-Jun-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 142K

Publishing Venue

Siemens

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Nikolaus Bott: AUTHOR [+6]

Abstract

Durch die vorgestellte Idee soll eine 100%ige Be- wertung der Padprozessierung (Waferfertigung) während der Nailheadbondung erreicht werden und ein objektiver Vergleich verschiedener Prozessvari- anten auf ihre Fertigungstauglichkeit möglich sein.

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Industrie

Nutzung der non-stick-detectionNSD bei der Nailheadbondung alsBewertungskriterium für diePadprozessierung

Idee: Nikolaus Bott, A-Villach;

Geert De-Nijs, München;Reinhard Göllner, Regensburg;Bianca Heimhofer, Hohenbrunn;Bernd Goller, Kemnath;Johann Schindler, A-Villach

Durch die vorgestellte Idee soll eine 100%ige Be-wertung der Padprozessierung (Waferfertigung)während der Nailheadbondung erreicht werden undein objektiver Vergleich verschiedener Prozessvari-anten auf ihre Fertigungstauglichkeit möglich sein.

Die Padprozessierung erfolgt chargenweise odermanchmal  auch  waferfein  und  wird spätestens vorder Parametermessung bewertet. Typischerweisefindet  chargenweise  eine  optische  Kontrolle aufPolymerreste, Metallreste, u.ä. statt, vor allem stö-rendes  Fluor  wird  auf  diese  Weise  nicht  entdeckt.Technisch  realisierbar  ist  auch  eine  EDX-Analyseauf Fluorreste, welche aber aus Kostengründen nichtin den Standardprüfablauf integriert ist.

Durch die Kontrolle unmittelbar nach der Padätzungwerden nachfolgende negative Einflüsse nicht mehrüberprüft.

Die Bewertung der Fertigungstauglichkeit neuerPadprozessvarianten  erfolgt  durch  Bestimmung  derBondpull-  und  Bondshearfestigkeit. Ausreißerlosewerden  nur  mit  sehr  geringer  Wahrscheinlichkeit,Ausreißerwafer praktisch gar nicht entdeckt.

Jedes einzelne Bondpad wird bezüglich seiner Bond-barkeit bei der Bondung selbst bewertet. Diese soge-nannte non-stick-detection  (NSD)  basiert  auf  eine...