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Suszeptorneigungswinkel-und -taumellagemessung mittels Laser

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018463D
Original Publication Date: 2002-Sep-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23
Document File: 1 page(s) / 287K

Publishing Venue

Siemens

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Markus Mumme: AUTHOR [+3]

Abstract

Die Neigungslage des Suszeptors ist während der Bearbeitung des Substrates wichtig, um gleichmäßige Dicken und Materialeigenschaften zu erzeugen. Die Ermittlung der Neigungslage des Suszeptors erfolgte bisher nur mit Augenmaß. Durch dieses subjektive Kriterium können recht große Toleranzen der Sus- zeptorverkippung auftreten, was zu Ausbeuteverluste durch Gleitlinien als auch zu Qualitätsproblemen führen kann. Der Suszeptorneigungswinkel wurde mit einem Haarlineal optisch beurteilt. Der Neigungswinkel wird für beide Kippachsen ermittelt. Das Messen der Neigungswinkel schafft ein objektives Kriterium für das Taumeln des Suszeptors, welches als Durchmes- ser eines verzerrten Kreises messbar ist.

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Bauelemente

Suszeptorneigungswinkel- und -taumellagemessung mittels Laser

Idee: Alexander Komposch, AT–Villach;

Markus Mumme, AT–Villach;Alfred Hebein, AT–Villach

Die� Neigungslage� des� Suszeptors� ist� während� derBearbeitung des Substrates wichtig, um gleichmäßigeDicken und Materialeigenschaften zu erzeugen. DieErmittlung der Neigungslage des Suszeptors erfolgtebisher nur mit Augenmaß. Durch dieses subjektiveKriterium können recht große Toleranzen der Sus-zeptorverkippung auftreten, was zu Ausbeuteverlustedurch� Gleitlinien� als� auch� zu Qualitätsproblemenführen kann.

Der Suszeptorneigungswinkel wurde mit einemHaarlineal optisch� beurteilt.� Der� Neigungswinkelwird für beide Kippachsen ermittelt. Das Messen derNeigungswinkel schafft ein objektives Kriterium fürdas Taumeln des Suszeptors, welches als Durchmes-ser eines verzerrten Kreises messbar ist.

Es� wird� ein� System vorgeschlagen, welches durchVerwendung eines Lasers eine erhöhte Genauigkeitdes Messergebnisses ermöglicht (siehe Abbildung 1).Durch Teilreflexionen eines Laserstrahles am„Quarz-Dom“ (Ober- und� Unterseite)� gibt� es� zweiFixpunkte, die als Referenz für die Messung verwen-det werden können. Bei exakt lotrecht ausgerichtetenSuszeptor hat der Abstand vom Reflexionsstrahl ander Scheibe zu diesen fixen Suszeptor-Reflexionspunkten immer einen konstanten Wert. Istder Neigungswinkel des Suszeptors nicht exakt jus-tiert, ist dies als veränderter Abstand dieser beidenPunkte messbar, worau...