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System zur Erzeugung von Pruefkontakten und aeusseren Kontakten fuer die Polymerelektronik

IP.com Disclosure Number: IPCOM000019533D
Original Publication Date: 2003-Oct-25
Included in the Prior Art Database: 2003-Oct-25
Document File: 1 page(s) / 134K

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

In der Mikroelektronik ist es notwendig, Schaltungen nach ihrer Herstellung einer elektrischen Nachuntersuchung zu unterziehen. Dies dient der Qualitaetssicherung und der Fehleranalyse. In der Polymerelektronik werden bei der Herstellung von Elektronikschaltungen ganzflaechige Beschichtungen eingesetzt. Dabei werden darunterliegende Elektroden bzw. Anschluesse komplett bedeckt. Dadurch ist ein nachtraegliches Kontaktieren nicht mehr moeglich. Das neue System zur Erzeugung von Pruefkontakten und aeusseren Kontakten fuer die Polymerelektronik loest das Problem. Der Grundgedanke liegt darin, elektrisch leitfaehige Kontaktierungshilfen von Beginn an in das Bauelement einzufuehren.

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S

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System zur Erzeugung von Pruefkontakten und aeusseren Kontakten fuer die Polymerelektronik

Idea: Alexander Knobloch, DE-Erlangen; Adolf Bernds, DE-Erlangen; Dr. Wolfgang Clemens, DE-

Erlangen

In der Mikroelektronik ist es notwendig, Schaltungen nach ihrer Herstellung einer elektrischen Nachuntersuchung zu unterziehen. Dies dient der Qualitaetssicherung und der Fehleranalyse. In der Polymerelektronik werden bei der Herstellung von Elektronikschaltungen ganzflaechige Beschichtungen eingesetzt. Dabei werden darunterliegende Elektroden bzw. Anschluesse komplett bedeckt. Dadurch ist ein nachtraegliches Kontaktieren nicht mehr moeglich.

Das neue System zur Erzeugung von Pruefkontakten und aeusseren Kontakten fuer die Polymerelektronik loest das Problem. Der Grundgedanke liegt darin, elektrisch leitfaehige Kontaktierungshilfen von Beginn an in das Bauelement einzufuehren.

In den nachfolgenden Abbildungen 1-3 werden die Prozessschritte der Herstellung der Kontaktierhilfen beschrieben. Dabei bedeuten 1 Substrat, 2 leitfaehige Elektrode, 3 Durch- bzw. Pruefkontakt, 4 und 5 Beschichtungen aus halbleitenden und isolierenden Polymeren. Abbildung 4 zeigt die externe Kontaktierung durch eine Messspitze (6). Dies ermoeglicht die indirekte Kontaktierung der leitfaehigen Elektrode (2), die unter den Schichten (4,5) verborgen liegt, ohne diese Schichten noch nachtraeglich zu beschaedigen. Anders als in einer anderen Loesung wird hier...