Browse Prior Art Database

Zerlegung von Anteilen in zufaellige und nicht-zufaellige Anteile

IP.com Disclosure Number: IPCOM000019753D
Original Publication Date: 2003-Oct-25
Included in the Prior Art Database: 2003-Oct-25
Document File: 3 page(s) / 75K

Publishing Venue

Siemens

Related People

Juergen Carstens: CONTACT

Abstract

Bei der Betrachtung der Ausbeute ist zur Trennung von zufaelligen und nicht-zufaelligen Ausfaellen bei Chips bzw. Halbleiterscheiben (auf denen mehrere Chips untergebracht sind) bisher keine zufriedenstellende Problemloesung vorhanden. Das hier vorgestellte neuentwickelte Verfahren arbeitet parameterfrei, modellfrei oder mit zusaetzlichen Inputs auch modellangepasst und ist eine allgemeine Loesung zur Trennung von Anteilen in zufaellige und nicht-zufaellige Anteile. Damit erkennt man sowohl aussergewoehnliche lokale Fehlerhaeufungen als auch regulaere Failures (z.B. Masken-Fehler) als nicht-zufaellige Ausfaelle. Ausserdem wird fuer jeden Chip entschieden, ob er dem zufaelligen- oder dem nicht-zufaelligen Anteil zugerechnet werden soll. Die Anteile lassen sich separat chipfein ausweisen und z.B. zur Suche der Ursachen zur Verfuegung stellen. Dieses Verfahren berechnet den Anteil der Failures auf der zu untersuchenden realen Halbleiterscheibe, kreiert dann die zugehoerige, ausbeutegleiche, rein zufaellige Referenz-Abbildung und errechnet daraus verschiedene Distanzstatistiken. Liegen nun auf der realen Halbleiterscheibe nur Zufalls-Fehler vor, so werden sich die Distanzverteilungen ‚Real‘ vs. ‚Referenz‘ nicht signifikant unterscheiden. Unterscheiden sie sich doch signifikant, so werden die Chips, die am meisten zum Verteilungsunterschied beitragen, auf der realen Halbleiterscheibe gesucht, markiert, dem nicht-zufaelligen Anteil zugeschlagen und aus der weiteren Berechnung ausgenommen. Iterativ wird das Verfahren solange fortgesetzt, bis die Distanzverteilungen sich nicht mehr signifikant unterscheiden. Die Zufalls-Anteile koennen nun von den systematischen getrennt angegeben und dem Chip zugeordnet hinterlegt werden.

This text was extracted from a PDF file.
At least one non-text object (such as an image or picture) has been suppressed.
This is the abbreviated version, containing approximately 60% of the total text.

Page 1 of 3

S

Zerlegung von Anteilen in zufaellige und nicht-zufaellige Anteile

Idea: Dr. Gerhard Poeppel, DE-Regensburg

Bei der Betrachtung der Ausbeute ist zur Trennung von zufaelligen und nicht-zufaelligen Ausfaellen bei Chips bzw. Halbleiterscheiben (auf denen mehrere Chips untergebracht sind) bisher keine zufriedenstellende Problemloesung vorhanden.

Das hier vorgestellte neuentwickelte Verfahren arbeitet parameterfrei, modellfrei oder mit zusaetzlichen Inputs auch modellangepasst und ist eine allgemeine Loesung zur Trennung von Anteilen in zufaellige und nicht-zufaellige Anteile. Damit erkennt man sowohl aussergewoehnliche lokale Fehlerhaeufungen als auch regulaere Failures (z.B. Masken-Fehler) als nicht-zufaellige Ausfaelle. Ausserdem wird fuer jeden Chip entschieden, ob er dem zufaelligen- oder dem nicht- zufaelligen Anteil zugerechnet werden soll. Die Anteile lassen sich separat chipfein ausweisen und z.B. zur Suche der Ursachen zur Verfuegung stellen. Dieses Verfahren berechnet den Anteil der Failures auf der zu untersuchenden realen Halbleiterscheibe, kreiert dann die zugehoerige, ausbeutegleiche, rein zufaellige Referenz-Abbildung und errechnet daraus verschiedene Distanzstatistiken. Liegen nun auf der realen Halbleiterscheibe nur Zufalls-Fehler vor, so werden sich die Distanzverteilungen ,Real' vs. ,Referenz' nicht signifikant unterscheiden. Unterscheiden sie sich doch signifikant, so werden die Chips, die am meisten zum Verteilungsunterschied beitragen, auf der...