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Gaspurge Station

IP.com Disclosure Number: IPCOM000030955D
Original Publication Date: 2004-Oct-25
Included in the Prior Art Database: 2004-Oct-25
Document File: 1 page(s) / 13K

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Um beim Umgang mit Wafern und Reticlen Oberflaechenreaktionen mit normaler Reinraumluft zu vermeiden oder zumindest zu verzoegern, wird bei bestimmten Prozessen ein Austausch dieser Luft gegen ein Inertgas durchgefuehrt. Ueblicherweise geschieht dies ueber Ventile im Boden des Behaelters bzw. Traegers (Carriers). Allerdings ist der vollstaendige Austausch der Gase schwierig oder zumindest zeitaufwaendig. Geloest werden kann dieses Problem dadurch, dass das Gas statt ueber die genannten Ventile direkt durch die geoeffnete Ein-/Ausladeoeffnung (Door) des Behaelters ausgetauscht wird. Dazu wird der auch als Pod (z.B. Front Opening Unified Pod, FOUP) bezeichnete Behaelter z.B. mittels schon vorhandener standardisierter Zugangsstelle (Interface) wie FIMS (Frontopening Interface Mechanical Standard) oder SMIF Standard Mechanical Interface Standard) an ein Inertgasreservoir angeschlossen, das Inertgas eingebracht und der Pod wieder verschlossen. Gegebenenfalls koennen ueber die genannten Ventile noch vorhandene Reste der Raumluft durch weiteres Einblasen von Inertgas ausgespuelt (purge) werden.

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S

Gaspurge Station

Idee: Michael Lering, DE-Dresden

Um beim Umgang mit Wafern und Reticlen Oberflaechenreaktionen mit normaler Reinraumluft zu vermeiden oder zumindest zu verzoegern, wird bei bestimmten Prozessen ein Austausch dieser Luft gegen ein Inertgas durchgefuehrt. Ueblicherweise geschieht dies ueber Ventile im Boden des Behaelters bzw. Traegers (Carriers). Allerdings ist der vollstaendige Austausch der Gase schwierig oder zumindest zeitaufwaendig.

Geloest werden kann dieses Problem dadurch, dass das Gas statt ueber die genannten Ventile direkt durch die geoeffnete Ein-/Ausladeoeffnung (Door) des Behaelters ausgetauscht wird. Dazu wird der auch als Pod (z.B. Front Opening Unified Pod, FOUP) bezeichnete Behaelter z.B. mittels schon vorhandener standardisierter Zugangsstelle (Interface) wie FIMS (Frontopening Interface Mechanical Standard) oder SMIF Standard Mechanical Interface Standard) an ein Inertgasreservoir angeschlossen, das Inertgas eingebracht und der Pod wieder verschlossen. Gegebenenfalls koennen ueber die genannten Ventile noch vorhandene Reste der Raumluft durch weiteres Einblasen von Inertgas ausgespuelt (purge) werden.

Diese Vorgehensweise ermoeglicht einen vollstaendigen Gasaustausch in kurzer Zeit unter Nutzung von Standard-Interfaces (z.B. FOUP/FIMS, SEMI, SMIF u.a.).

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