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FOUP for FOUP

IP.com Disclosure Number: IPCOM000030956D
Published in the IP.com Journal: Volume 4 Issue 10 (2004-10-25)
Included in the Prior Art Database: 2004-Oct-25
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Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Fuer den Transport ausserhalb von Reinraeumen sowie fuer die Wiedereinbringung von zum Wafertransport genutzten so genannten Front Opening Unified Pods (FOUP) bzw. Front Opening Shipping Boxes (FOSB) zurueck in einen Reinraum werden diese ueblicherweise in Folie eingeschweisst, ggf. auch doppelt. Dies kann einen hohen Bedarf an Reinraumtueten zur Folge haben, insbesondere bei externer Reinigung dieser Behaelter bzw. Traeger (Carrier).

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S

FOUP for FOUP

Idee: Michael Lering, DE-Dresden

Fuer den Transport ausserhalb von Reinraeumen sowie fuer die Wiedereinbringung von zum Wafertransport genutzten so genannten Front Opening Unified Pods (FOUP) bzw. Front Opening Shipping Boxes (FOSB) zurueck in einen Reinraum werden diese ueblicherweise in Folie eingeschweisst, ggf. auch doppelt. Dies kann einen hohen Bedarf an Reinraumtueten zur Folge haben, insbesondere bei externer Reinigung dieser Behaelter bzw. Traeger (Carrier).

Vorgeschlagen wird, wiederverwendbare Boxen statt der Einwegtueten zu verwenden. Eine solche Umbox fuer die Aufnahme von FOUP/FOSB hat einen gedichteten Deckel, kann regelmaessig gereinigt werden und gewaehrleistet fuer den Inhalt die Einhaltung der Anforderungen entsprechender Reinraum-Klassen (z.B. CR-Class US 1000). Sie ist sozusagen eine Spezialbox fuer eine Spezialbox - FOUP for FOUP.

© SIEMENS AG 2004 file: ifx_2004J52777.doc page: 1