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System zum Schutz von Linsen und Linsensystemen vor chemischen Ablagerungen

IP.com Disclosure Number: IPCOM000032179D
Original Publication Date: 2004-Nov-25
Included in the Prior Art Database: 2004-Nov-25
Document File: 3 page(s) / 435K

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Auch in Reinraumluft befinden sich zahlreiche chemische Verbindungen. Diese koennen sich durch chemische Reaktionen unter Einwirkung von Energie (z.B. Photonen) in Salze wandeln. Diese Salze schlagen sich unter anderem auf optischen Teilen nieder. Besonders gefaehrdet ist dabei das Linsensystem einer Belichtungsmaschine. Hier koennen sich die Salze auf dem obersten (ersten) und dem untersten (letzten) Linsenelement ablagern. Dieses fuehrt zu Beeintraechtigungen des Belichtungsergebnisses und kann z.B. zu einem ungleichmaessigen Energieeintrag und einer unerwuenschten Energieverteilung auf dem Wafer fuehren, was wiederum zur Folge hat, dass die abzubildenden Strukturen nicht korrekt uebertragen werden koennen. Bisher wurde versucht, durch staendiges Spuelen mit einem inertem Gas (Abbildung 1) das Aufwachsen der Salzkristalle zu unterbinden. Dies ist jedoch nicht ausreichend und ueber einen gewissen Zeitraum kommt es dennoch zu Ablagerungen (Abbildung 2). Die betroffenen Linsenelemente muessen daher staendig kontrolliert und in gewissen Abstaenden gereinigt werden. Dies ist jedoch sehr aufwaendig und birgt ausserdem die Gefahr, dass die Linsen bei der Reinigung beschaedigt werden. Deshalb wird vorgeschlagen, die betroffenen Linsenelemente durch Schutzfolien oder Schutzglaeser zu schuetzen. Mit beiden Systemen kann ueber einen langen Zeitraum die Qualitaet des Belichtungsergebnisses sichergestellt werden, ohne dass Maschinenausfallzeiten entstehen.

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S

System zum Schutz von Linsen und Linsensystemen vor chemischen Ablagerungen

Idee: Diana Mattiza, DE-Dresden; Jens Staecker, DE-Dresden

Auch in Reinraumluft befinden sich zahlreiche chemische Verbindungen. Diese koennen sich durch chemische Reaktionen unter Einwirkung von Energie (z.B. Photonen) in Salze wandeln. Diese Salze schlagen sich unter anderem auf optischen Teilen nieder. Besonders gefaehrdet ist dabei das Linsensystem einer Belichtungsmaschine. Hier koennen sich die Salze auf dem obersten (ersten) und dem untersten (letzten) Linsenelement ablagern. Dieses fuehrt zu Beeintraechtigungen des Belichtungsergebnisses und kann z.B. zu einem ungleichmaessigen Energieeintrag und einer unerwuenschten Energieverteilung auf dem Wafer fuehren, was wiederum zur Folge hat, dass die abzubildenden Strukturen nicht korrekt uebertragen werden koennen.

Bisher wurde versucht, durch staendiges Spuelen mit einem inertem Gas (Abbildung 1) das Aufwachsen der Salzkristalle zu unterbinden. Dies ist jedoch nicht ausreichend und ueber einen gewissen Zeitraum kommt es dennoch zu Ablagerungen (Abbildung 2). Die betroffenen Linsenelemente muessen daher staendig kontrolliert und in gewissen Abstaenden gereinigt werden. Dies ist jedoch sehr aufwaendig und birgt ausserdem die Gefahr, dass die Linsen bei der Reinigung beschaedigt werden. Deshalb wird vorgeschlagen, die betroffenen Linsenelemente durch Schutzfolien oder Schutzglaeser zu schuetzen. Mit beiden Systemen kann ueber einen lang...