Browse Prior Art Database

Defocuseren tijdens uitzoomen om ondersampling tegen te gaan Micro-fluïdische structuren gemaakt middels oppervlakte modificatie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000238595D
Publication Date: 2014-Sep-05
Document File: 1 page(s) / 42K

Publishing Venue

The IP.com Prior Art Database

This text was extracted from a PDF file.
This is the abbreviated version, containing approximately 52% of the total text.

Page 01 of 1

Defocuseren tijdens uitzoomen om ondersampling tegen te gaan.

Bij een microscoop met een gefocusseerde deeltjesbundel (zoals een Scanning Elektronen Microscoop of Scanning Ionen Microscoop, SEM/SIM) ontstaat er normaal gesproken een soort ruis in het beeld als er eerst bij hoge vergroting gefocusseerd en gestigmeerd wordt en vervolgens uitgezoomd wordt naar lagere vergroting. De oorzaak is dat de bundeldiameter nu kleiner is dan 1 pixel, en dat de positionele ruis op de bundelpositie de bundel binnen de pixel kan verplaatsen. Hierdoor kan de precieze plek binnen de pixel tussen opeenvolgende scans veranderen, waardoor het detector signaal ook anders kan zijn (als er contrast verschillen binnen de pixel zijn). Hierdoor heeft dezelfde pixel bij elke scan een andere intensiteit, wat dus ruis in het beeld geeft.

De oplossing voor dit probleem is simpel: de bundel automatisch de-­‐focusseren tijdens uitzoomen zodat de bundel diameter bij benadering even groot blijft als 1 pixel. Aangezien bekend is wat de openingshoek van de bundel is en wat de grootte van 1 pixel is kan triviaal berekend worden wat het gewenste defocus is, en met de bekende eigenschappen van de objectieflens is het eenvoudig om het benodigde defocus in te stellen.

Een bijkomend voordeel is dat dit een objectiever beeld geeft, waar de gemiddelde compositie van elke pixel gerepresenteerd wordt, in plaats van een willekeurig gekozen sub-­‐gebied binnen elke pixel.

Bij inzoomen (naar hogere vergro...