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ROM mit individueller Zusatzprogrammierung

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017137D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Dr. Josef Willer Dr. Franz Hofmann [+details]

Abstract

Für sicherheitsrelevante Anwendungen kann eine hardwaremäßig vorgegebene, chipspezifische Programmierung von Vorteil sein, da so in jedem einzelnen Chip ein anderer Code integriert werden kann. Eine noch höhere Sicherheitsstufe kann erreicht werden, in dem dieser chipspezifische Code an einer beliebigen, von Chip zu Chip variierenden Stelle auf dem Chiplayout positioniert wird. Zur Realisierung eines derartigen elektronischen Schlüssels wird vorgeschlagen, ein maskenprogrammierbares ROM, das üblicherweise mit einer strukturierten Implantation programmiert wird, mit Hilfe der e-beam-Lithographie zusätzlich zu programmieren. Einzelne Bits können so kostengünstig chipweise eingeschrieben werden, wobei die Lackmaske der Programmierebene an den gewünschten Stellen durch Elektronenstrahlbelichtung zusätzlich geöffnet wird. Vorzugsweise wird die Fotolackschicht der Programmierebene zunächst mit einer Maske durch einen i-line- oder deep-UV-Stepper belichtet. Anschließend erfolgt eine zweite Belichtung mit der gleichen Lackmaske in einem Elektronenstrahlschreiber, bevor die Lackschicht entwickelt wird. Alternativ erfolgt die Zusatzprogrammierung über eine eigene Lackmaske oder mit anderen Prozessen (z.B. Ätzung). Ferner kommt auch die Belichtung durch einen Laserscanner in Betracht.