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EDV-Bilderfassung zur Optimierung der Fluoreszenz-Mikrothermographie

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017147D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22

Publishing Venue

Siemens

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Authors:
Christian Herzum Dr. Christian Boit [+details]

Abstract

In der elektrischen Fehleranalyse von integrierten Schaltkreisen dient ein hochauflösendes Temperaturmeßverfahren zum Auffinden sogenannter „Hot-Spots“, welche durch untypische lokale Erwärmung einer Schaltung entstehen und auf einen erhöhten Stromverbrauch im betroffenen Bereich hinweisen. Da die bisher zur „Hot-Spot“-Lokalisierung verwendete Flüssigkristall-Thermographie aufgrund der maximal zu erreichenden Auflösung von 1 µm und der Temperaturempfindlichkeit von 100 mK den Anforderungen der kleiner werden Strukturgrößen und der zunehmenden Anzahl von Metallisierungsebenen nicht mehr gerecht wird, ist die Einführung eines neuen, den gestiegenen Anforderungen hinsichtlich Auflösung und Temperaturempfindlichkeit gewachsenen Verfahrens erforderlich. Mit dem Verfahren der Fluoreszenz-Mikrothermographie (FMT) können, bei einer entsprechenden Unterstützung durch geeignete Software, Auflösungen von bis zu 0,5 µm und Temperaturempfindlichkeiten von bis zu 10 mK erreicht werden.