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Rundtransportsystem/Rundlayout

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017148D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22

Publishing Venue

Siemens

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Authors:
Harald Lange [+details]

Abstract

Für Halbleiter-Fertigungsprozesse ist die hohe Anzahl von Prozeßschritten, die auf einer Vielzahl unterschiedlicher Fertigungstools stattfinden, signifikant. Aus diesem Grunde kommt der Anordnung der unterschiedlichen Fertigungstools zueinander (Layout) und somit einem gut balancierten Fertigungsfluß eine hohe Bedeutung zu, da diese wichtige Einflußgrößen für den Durchsatz/Zeit darstellen. Um eine hohe Flexibilität der Fertigung bei einem möglichst optimalen Fertigungsfluß zu realisieren, wird eine kreisförmige Anordnung der einzelnen Fertigungstools in unterschiedlichen Radien vorgeschlagen. Zentrum des vorgeschlagenen Layouts stellt hierbei eine im Kreismittelpunkt angeordnete Zentralachse dar, an der zeigerartige Ausleger in unterschiedlichen Höhen drehbar gelagert so befestigt sind, daß mit Ihnen jeder Punkt innerhalb des beschriebenen Kreises erreicht werden kann. Durch die Anordnung der zeigerartigen Ausleger auf unterschiedlichen Höhenniveaus wird ein zeitgleicher Transport ermöglicht. Die zentrale Mittelachse kann zudem als zentrales Lager für Transportbehälter benutzt werden.