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Visualisierung von Informationen über den Inhalt implantationsprogrammierter ROMs

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017156D
Original Publication Date: 2000-Jan-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-22

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Dr. Ulrich Zimmermann Thomas Böhm Dr. Michael Bollu Manfred Hain Dr. Armin Kohlhase Dr. Yoichi Otani Andreas Rusch Alexander Trüby [+details]

Abstract

Eine übliche Methode zur Programmierung von ROMs besteht darin, die Einsatzspannung der verwendeten Transistoren im Zellenfeld entsprechend des gewünschten ROM-Inhalts durch eine geeignet maskierte Implantation zu modifizieren. Ein Nachteil dieser Verfahrensweise besteht darin, daß nach Entfernen der Lack-Programmiermaske optisch nicht mehr festzustellen ist, welche Informationen programmiert wurden. So ist z.B. bei Verwechslungen oder Rücklieferungen eine Identifikation der ROM-Identität (Speicherinhalt des ROMs) nur mit großem Aufwand möglich. Eine Möglichkeit diesen Nachteil bekannter Verfahren zu lösen, besteht in der Ausnutzung der Tatsache, daß eine direkt einer Programmierimplantation ausgesetzte Oxid-Oberfläche derart geschädigt wird, daß sie bei nachfolgenden Naßätzungen an den implantierten Stellen schneller entfernt wird. Es entstehen dabei Vertiefungen, die einen ausreichenden lichtmikroskopischen Kontrast liefern. Wird in die Programmiermaske eine geeignete Kodierung (z.B. Seriennummer) auf eine ausreichend große Oxid-Fläche (z.B. STI-Oxid) belichtet, läßt sich die Programmierung des ROMs auch nachträglich noch bestimmen.