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Verdichtung von ferroelektrischen Filmen durch Laserannealing

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017355D
Original Publication Date: 2000-Oct-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-25

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Prof. Dr. Rainer Waser Dr. Günther Schindler Walter Hartner Manfred Mört [+details]

Abstract

Im Rahmen der Entwicklung von nicht flüchtigen Speichermedien hat sich die Verwendung von ferroelektrischen Dünnfilmen aus SrBi 2 Ta 2 O 9 (SBT) als sinnvoll erwiesen. Bei der Herstellung derartiger Dünnfilme ist insbesondere darauf zu achten, dass der Film dicht ist, also zwischen den einzelnen SBT-Körnern keine Löcher aufweist, die während des Betriebs zu Kürzschlüssen führen könnten. Eine Möglichkeit das beschriebene Problem zu umgehen besteht darin, die Filme etwas dicker auszuführen, da sich so die Wahrscheinlichkeit durchgehender Löcher zwischen den SBT-Körnern verringert. Diese Vorgehensweise birgt allerdings den Nachteil, dass dickere Filme höhere Koerzitivspannungen und somit höhere Betriebspannungen bedingen.