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Loadport-Zugang für FOUP for one (FFO)

IP.com Disclosure Number: IPCOM000017676D
Original Publication Date: 2001-Jul-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Martin Peiter [+details]

Abstract

In der Halbleiterindustrie erfolgt die Herstellung von Halbleiterprodukten in einer gegenüber dem Reinraum nochmals verbesserten atmosphärischen Umgebung, der sogenannten Mini- Environment. Prozeßanlagen, Meßgeräte sowie Transportbehälter, insbesondere FOUPs (Front- Opening Unified Pods) sind mit dieser Atmosphäre geflutet. Die in einem FOUP transportierten Wafer werden über einen Loadport mit Prozeßanlagen verbunden. Dazu wird der FOUP auf den Loadport gesetzt und an eine an die Prozeßanlagen angrenzende Tür herangeführt. Beim Austausch der Wafer zwischen FOUP und Prozeßanlagen wird die Mini-Environment von der äußeren Reinraumumgebung isoliert. Während ein FOUP üblicherweise 13 oder 25 Wafer aufnimmt, existieren Ein-Wafer-Behälter, sogenannte FOUPs for one (FFO). Um für diese Behälter keine eigenen Loadports vorsehen zu müssen, werden diese mittels eines Adapters auf einen herkömmlichen Loadport aufgesetzt. Der Adapter simuliert gegenüber dem Loadport, insbesondere dessen Tür zu den Prozeßanlagen, das Vorhandensein eines üblichen FOUPs. Bei geöffneter Tür des Loadports wird die Öffnung durch den relativ flachen FFO und den darunter befindlichen, wesentlich höheren Adapter verdeckt.