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Nutzung der hohen Temperatursensibilität eines Varaktors als Temperatursensor

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018218D
Original Publication Date: 2002-Apr-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Dr. Detlef Wilhelm [+details]

Abstract

Anhand nachfolgender Idee wird ein neues Verfah- ren zur Hochtemperaturmessung (> 800 – 900°C) mit einer Auflösung von 2°C vorgestellt. Dabei handelt es sich um eine Methode, bei der Testwafer mit Va- raktoren prozessiert, deren Kapazität bestimmt und mit bereits vorprozessierten Wafern und Varaktoren, deren Kapazität exemplarisch festgestellt wurde, verglichen werden. Bei den Vergleichswafern bzw. - varaktoren wurde diesbezüglich die Kapazität bei mind. drei verschiedenen Temperaturen gemessen und im C-T-Diagramm eine Näherungsgerade durch die drei Punkte gelegt (Bsp. s. Abb. 1). Diese dient somit als Vorlage zur Bestimmung der Temperatur anhand der ermittelten Varaktorkapazität. Der nutzbare Effekt liegt in der temperaturabhängi- gen Eindiffusion von Bor in ein steiles Arsenprofil (s. Abb. 2). Als Diffusionsquelle dient eine hochdo- tierte p-Poly-Schicht. Die Eindringtiefe wird dabei mittels der elektrischen Kapazitätsmessung bestimmt.