Browse Prior Art Database

Justage von dicken epitaxialen Schichten auf Canon FPA-3000 Wafer-Steppern

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018262D
Original Publication Date: 2002-Apr-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Jens Stäcker [+details]

Abstract

Die Justage von bis zu 40µm dicken epitaxialen Schichten ist auf dem Anlagentyp Canon FPA-3000 der Firma Canon unter Verwendung der von der Firma Canon empfohlenen Standardmarken – TVPA für das globale Alignment und 20P-4F für das AGA- Alignment – bisher nicht möglich. Bislang wird für diesen Prozeß ein Anlagentyp der Firma Ultratech genutzt, dessen Targets vierfache Größe aufweisen im Vergleich zu denen des Anla- gentyps der Firma Canon. Zudem ist bei diesem Typ die dreifache Nacharbeit und auch eine kontinuierli- che neue Einstellung der Justage notwendig.