Browse Prior Art Database

Exhaust Filter für TEOS LPCVD Prozesse

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018337D
Original Publication Date: 2001-Dec-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Gerhard Ott [+details]

Abstract

Bei Tetra-Ethyl-Ortho-Silikat Si (OC 2 H 5 ) 4 (TEOS) handelt es sich um eine Flüssigkeit bei Raumtempe- ratur. Diese wird durch einen Prozess in einem be- heizten Gefäß (25-90°C) in den dampfförmigen Zu- stand gebracht und anschließend in das LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)-Prozessrohr geführt, wo es bei ca. 700°C unter Vakuum zu LPCVD-Oxid reagiert. Das erzeugte Oxid weist eine gute Dichtigkeit auf und ist ein guter elektrischer Isolator. Allgemein wird in der Halbleiterindustrie die Teosfiltration mittels Ganzmetallfilter, welche aus Metallnetzen, Metallgittern oder auch aus Drahtge- flechten hergestellt werden, vorgenommen. Dies erfordert eine relativ große Menge an Filtermaterial (z.B. Edelstahldrahtgeflecht), um ein einigermaßen gutes Filterergebnis zu erhalten. Die Standzeit dieser Ganzmetallfilter ist zwar hoch, geht aber auf Kosten der Filterung, d.h. die nach dem Filter eingebauten Anlagenteile werden stärker durch Restablagerungen beansprucht. Dies hat wieder vorbeugende Maßnah- men zur Folge. Im Gegensatz zu den Ganzmetallfil- tern ist die Standzeit des seit Jahren zum Zwecke der Filtration im Exhaust der Teos LPCVD Fertigungs- anlagen verwendeten Filter ist relativ niedrig. Zudem geht der verwendete ”Papierfilter” (z.B. LKW Luft- filter) vor allem bei langen Prozessen schlagartig in die Sättigung. Dies hat zur Folge, dass der Prozess aufgrund der Erhöhung des Vakuumdrucks in der Prozesskammer abgebrochen wird, da der benötigte Prozessdruck nicht mehr eingehalten werden kann. Dies hat meist den Verwurf von Prozessgut aufgrund des dadurch generierten Partikeleinbruchs zur Folge. Bisher wurden die Filter frühzeitig gewechselt. Die Wechselzyklen liegen zwischen 6000-8000nm Pro- zessabscheidung. Nach jedem Wechsel müssen Anla- genkontrollfahrten (Testfahrten) durchgeführt wer- den.