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Prüfung auf Dichtheit mittels Restgasanalyse

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018352D
Original Publication Date: 2002-Jun-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Herbert Preiml Franz Kump Stephan Bertel [+details]

Abstract

Eine Methode, dünne Schichten auf ein Substrat abzuscheiden, besteht in der thermischen Verdamp- fung. Dabei wird das Beschichtungsmaterial entwe- der durch Elektronenbeschuss oder Widerstandshei- zung im Hochvakuum (10 -7 bis 10 -5 mbar) verdampft. Wenn dieser Druck verglichen mit der Atmosphäre niedrig erscheint, beeinflusst die Zusammensetzung des Restgases die Eigenschaften der aufwachsenden Schicht erheblich. Da der für die Bedampfung nötige Ausgangsdruck auch bei kleineren Lecks erreicht wird ohne dass die Abpumpzeiten auffallend abwei- chen, stellen gerade Lecks geringen Ausmaßes ein Risiko für die Qualität der Beschichtung dar. Um die Anlagen auf Dichtheit zu überprüfen, werden zwei Verfahren eingesetzt: