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Konzept eines Differenzdruck-sensors in Oberflächen-Mikromechanik

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018353D
Original Publication Date: 2002-Jun-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

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Authors:
Dr. Dieter Maier-Schneider [+details]

Abstract

Die Herstellung eines echten Differenzdrucksensors ist in der Oberflächenmikromechanik technisch schwierig zu realisieren. Differenzdrucksensoren, deren Ausgangssignal einem Differenzdruck 2 1 p p [g68] [g61] p [g45] proportional ist, werden vorzugsweise in Bulkmikromechanik realisiert (siehe Abbildung 1). Dort kann man auf beiden Seiten einer druckemp- findlichen Membran die beiden Drücke p1 und p2 anlegen. Die Auslenkung der Membran ist dann [g68] direkt proportional der Druckdifferenz p . Druck- sensoren in Bulkmikromechanik lassen sich im Ver- gleich zu Drucksensoren in Oberflächenmikrome- chanik nur schwer in eine Standard CMOS-Fertigung integrieren. Dies ist aber Voraussetzung für eine Integration von Drucksensor und Auswerteschaltung auf einem Chip. Intelligente Bulkmikromechanik- Sensoren sind daher meist 2-Chip Lösungen.