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Suszeptorneigungswinkel-und -taumellagemessung mittels Laser

IP.com Disclosure Number: IPCOM000018463D
Original Publication Date: 2002-Sep-01
Included in the Prior Art Database: 2003-Jul-23

Publishing Venue

Siemens

Related People

Authors:
Markus Mumme Alexander Komposch Alfred Hebein [+details]

Abstract

Die Neigungslage des Suszeptors ist während der Bearbeitung des Substrates wichtig, um gleichmäßige Dicken und Materialeigenschaften zu erzeugen. Die Ermittlung der Neigungslage des Suszeptors erfolgte bisher nur mit Augenmaß. Durch dieses subjektive Kriterium können recht große Toleranzen der Sus- zeptorverkippung auftreten, was zu Ausbeuteverluste durch Gleitlinien als auch zu Qualitätsproblemen führen kann. Der Suszeptorneigungswinkel wurde mit einem Haarlineal optisch beurteilt. Der Neigungswinkel wird für beide Kippachsen ermittelt. Das Messen der Neigungswinkel schafft ein objektives Kriterium für das Taumeln des Suszeptors, welches als Durchmes- ser eines verzerrten Kreises messbar ist.