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Verfahren zur Herstellung eines Fehlladung-minimierten Kompensationsbauteils

IP.com Disclosure Number: IPCOM000022711D
Original Publication Date: 2004-Apr-25
Included in the Prior Art Database: 2004-Apr-25
Document File: 3 page(s) / 142K

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Bei Kompensationsleistungsbauelementen (z.B. CoolMOS) wird die Performance vorrangig bestimmt durch die horizontale Ladungsbilanz im spannungsaufkommenden Volumen. Unvermeidbare Fertigungstoleranzen fuehren zu Abweichungen (=„Fehlladungen“) von vorgegebener Ladungsbilanz κ: