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FOUP for FOUP

IP.com Disclosure Number: IPCOM000030956D
Original Publication Date: 2004-Oct-25
Included in the Prior Art Database: 2004-Oct-25

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Fuer den Transport ausserhalb von Reinraeumen sowie fuer die Wiedereinbringung von zum Wafertransport genutzten so genannten Front Opening Unified Pods (FOUP) bzw. Front Opening Shipping Boxes (FOSB) zurueck in einen Reinraum werden diese ueblicherweise in Folie eingeschweisst, ggf. auch doppelt. Dies kann einen hohen Bedarf an Reinraumtueten zur Folge haben, insbesondere bei externer Reinigung dieser Behaelter bzw. Traeger (Carrier).