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Platzsparende Realisierung von Diffusionskapazitaeten mittels einer hochenergetisch implantierten Schicht

IP.com Disclosure Number: IPCOM000031184D
Original Publication Date: 2004-Oct-25
Included in the Prior Art Database: 2004-Oct-25

Publishing Venue

Siemens

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Abstract

Ein sogenanntes „optisches 90° Hybrid“ ist eine optische Komponente mit zwei Eingaengen und zwei Ausgaengen. Seine Funktion laesst sich wie folgt beschreiben: am Eingang „Ein1“ liege das optische Feld der Form mit der Amplitude und der Kreisfrequenz an, am Eingang „Ein2“ das Feld mit analogen Bezeichnungen. Unter Vernachlaessigung der Daempfung des Bauteils liegt dann am Ausgang „Aus1“ ein Feld der Form an und am Ausgang „Aus2“ ein Feld der Form . Ausgang „Aus1“ erhaelt also die Summe der beiden Felder; Ausgang „Aus2“ die Summe aus dem Feld von „Ein1“ und des um 90° phasenverschobenen Feldes des Eingangs „Ein2“. In der praktischen Realisierung enthalten solche Bauelemente oft vier Ausgaenge mit den Feldern , , und . Diese Form ist vorteilhaft, da durch Differenzbildung Offsets abgezogenen werden koennen. Ein solches Bauelement wird z.B. eingesetzt, um diverse Empfaengertypen nach dem Prinzip des optischen Ueberlagerungsempfangs aufzubauen. Bei einigen dieser Typen, z.B. dem sogenannten Phasendiversitaetsempfaenger ist die Praezision, mit welcher die 90° Phasendrehung realisiert wird, von entscheidender Bedeutung fuer die Guete des Empfaengers. Bei einer Wellenlaenge von z.B. 1500 nm und einem angenommenen optischen Brechungsindex in einem Glasfasermaterial von 1.5 entspricht eine 90° Phasendrehung eines optischen Feldes einer Weglaenge von 250 nm. Mit anderen Worten, ein Phasenwinkel im 90° Hybrid, der weniger als 1 Grad Abweichung vom Idealwert haben darf, erfordert eine interne optische Weglaengendifferenz im Hybrid, welche nicht mehr als etwa 2.5 nm variieren darf.