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Nutzung von gebrauchtem Slurry beim Drahtsägen ohne Wiederaufarbeitung

IP.com Disclosure Number: IPCOM000136274D
Publication Date: 2006-May-12
Document File: 1 page(s) / 34K

Publishing Venue

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Abstract

Sägeslurry ist eine Verbindung aus flüssigem Glykol bzw. Öl (Trägermittel) und dem Feststoff SiC (Siliciumcarbid), das nach unterschiedlichen Korngrößen klassifiziert wird. Für das Trennen von Siliciumstäben, mittels der Drahtsägetechnologie, wird das Sägeslurry als ein elementarer Bestandteil benötigt. Aufgrund des hohen Sägeslurryverbrauchs bestand die Aufgabe darin, diese Hilfsstoffmengen, einschließlich der Entsorgungskosten zu reduzieren oder sogar ganz einzusparen. Diese Aufgabenstellung konnte durch das so genannte „Downcycling von gebrauchtem Slurry“ gelöst werden.