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Nutzung von gebrauchtem Slurry beim Drahtsägen ohne Wiederaufarbeitung

IP.com Disclosure Number: IPCOM000136274D
Publication Date: 2006-May-12
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Abstract

Sägeslurry ist eine Verbindung aus flüssigem Glykol bzw. Öl (Trägermittel) und dem Feststoff SiC (Siliciumcarbid), das nach unterschiedlichen Korngrößen klassifiziert wird. Für das Trennen von Siliciumstäben, mittels der Drahtsägetechnologie, wird das Sägeslurry als ein elementarer Bestandteil benötigt. Aufgrund des hohen Sägeslurryverbrauchs bestand die Aufgabe darin, diese Hilfsstoffmengen, einschließlich der Entsorgungskosten zu reduzieren oder sogar ganz einzusparen. Diese Aufgabenstellung konnte durch das so genannte „Downcycling von gebrauchtem Slurry“ gelöst werden.

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Nutzung von gebrauchtem Slurry beim Drahtsägen ohne Wiederaufarbeitung

Armin Sandner, Maximilian Käser

Siltronic AG, Burghausen, Germany

Sägeslurry ist eine Verbindung aus flüssigem Glykol bzw. Öl (Trägermittel) und dem Feststoff SiC (Siliciumcarbid), das nach unterschiedlichen Korngrößen klassifiziert wird. Für das Trennen von Siliciumstäben, mittels der Drahtsägetechnologie, wird das Sägeslurry als ein elementarer Bestandteil benötigt.

Aufgrund des hohen Sägeslurryverbrauchs bestand die Aufgabe darin, diese Hilfsstoffmengen, einschließlich der Entsorgungskosten, zu reduzieren oder sogar ganz einzusparen. Diese Aufgabenstellung konnte durch das so genannte "Downcycling von gebrauchtem Slurry" gelöst werden.

Beim "Downcycling von gebrauchtem Slurry" wird Slurry, das beim Sägen von Siliciumstäben größerer Durchmessern (300 mm) verwendet wurde, ohne Recyclingschritt zum Sägen von Siliciumstäben kleinerer Durchmesser (76 mm - 200 mm) eingesetzt. Ohne Recyclingschritt bedeutet hier, dass das Slurry ohne teure Trennung bzw. Wiederaufbereitung zu 100 % wieder verwendet wird. Um die Standzeit des gebrauchten Slurry beim Sägen zu erhöhen, wird das Slurry noch einem gewöhnlichen Dekantierschritt unterzogen. Dadurch wird ein definierter Feinkornanteil entfernt.

Um das gebrauchte Slurry wieder zu verwenden, war es aber auch gleichzeitig notwendig, die Dra...