Browse Prior Art Database

Sensoren auf Basis von dielektrischen Siliconschichten

IP.com Disclosure Number: IPCOM000257316D
Publication Date: 2019-Jan-31
Document File: 42 page(s) / 3M

Publishing Venue

The IP.com Prior Art Database

Abstract

Die Erfindung betrifft Sensoren umfassend wenigstens eine dielektrische Siliconschicht. Die Siliconschicht befindet sich dabei zwischen wenigstens zwei Elektroden. Die erfindungsgemäßen Sensoren sind gegenüber bestimmten Analyten, gegenüber Licht oder gegenüber elektromagnetischen Feldern sensitiv und können somit Änderungen in ihrer Umgebung erfassen. Die erfindungsgemäßen Sensoren sind einfach herzustellen und haben vielfältige Anwendungsmöglichkeiten. Weiterhin umfasst die vorliegende Erfindung ein Messsystem umfassend den Sensor, ein Verfahren zur Herstellung des Sensors, sowie ein Messverfahren unter Verwendung des Sensors.